真空泵是指通過氣體體積變化把空間內的氣體抽成密度特小的真空狀態的設備，真空泵使用的潤滑油就叫真空泵油。按設備抽真空的狀態，真空泵可分為機械真空泵和擴散泵。擴散泵使用的潤滑油叫擴散油，它不僅是潤滑油，還是工作液，其性能要求與用于機械真空泵的潤滑油有很大不同。

真空泵油的性能要求主要表現在以下幾方面：

1、有適當的黏度，一般為ISO32~150,一般轉速越高，線速度越大，配合間隙越小，則選的黏度越低;

2、有低的飽和蒸氣壓，就是要有窄的餾分，盡量少含輕組分，這是真空泵油的要求;

3、有優良的熱穩定性和抗氧化性，這相同于壓縮機油;

4、有好的分水性和抗泡沫性，這也與壓縮機油一致。

擴散泵油主要有以下性能要求：

1、在冷凝器的溫度下(約20℃)必須有低的飽和蒸氣壓才能得到高的真空度;

2、在蒸發器的溫度下應有盡可能大的飽和蒸氣壓，使真空泵能在較高的出口壓強下工作;

3、有優良的熱穩定性和抗氧化性，有長的使用壽命;

4、有些用途還要求有好的化學安定性和抗輻射能力。